Ar hyn o bryd, deunyddiau a baratowyd gantechnoleg dyddodiad anwedd cemegolyn cael eu defnyddio nid yn unig mewn deunyddiau offer torri, deunyddiau sy'n gwrthsefyll traul, sy'n gallu gwrthsefyll gwres, sy'n gwrthsefyll cyrydiad, deunyddiau cyfansawdd arbennig yn y diwydiant awyrofod, deunyddiau adweithyddion atomig, a deunyddiau biofeddygol, ond hefyd yn cael eu defnyddio'n helaeth wrth baratoi a synthesis powdr amrywiol deunyddiau, deunyddiau swmp, deunyddiau grisial newydd, ffibrau ceramig, a ffilmiau diemwnt. Ym maes technoleg paratoi ffilmiau tenau ar gyfer deunyddiau ferroelectrig, deunyddiau inswleiddio, deunyddiau magnetig, a deunyddiau optoelectroneg fel technoleg cylched integredig ar raddfa fawr, mae hyd yn oed yn fwy anhepgor.
Egwyddorion oTechnoleg CVD
Technoleg CVD yw'r broses o gyflwyno anwedd sy'n cynnwys adweithyddion nwyol neu hylifol sy'n ffurfio'r elfennau ffilm tenau a nwyon eraill sydd eu hangen ar gyfer yr adwaith i mewn i siambr adwaith, gan achosi adwaith cemegol ar wyneb y swbstrad, a dyddodi cynhyrchion solet ar yr wyneb i ffurfio. ffilm denau.
Mae’n cynnwys pedwar prif gam:
① Mae'r nwy adwaith yn tryledu tuag at wyneb y deunydd;
② Mae'r nwy adweithiol yn amsugno ar wyneb y deunydd;
③ Mae adweithiau cemegol yn digwydd ar wyneb deunyddiau;
④ Mae sgil-gynhyrchion nwyol yn datgysylltu oddi wrth wyneb y deunydd.
Nodweddion technoleg CVD
Mae'r haen ffilm a ffurfiwyd gan dechnoleg CVD yn drwchus ac yn unffurf, gyda bond cryf rhwng yr haen ffilm a'r swbstrad, rheolaeth hawdd ar gyfansoddiad y ffilm, cyfradd dyddodiad cyflym, ac ansawdd ffilm sefydlog. Mae gan rai haenau ffilm arbennig hefyd briodweddau optegol, thermol a thrydanol rhagorol, gan eu gwneud yn hawdd i gyflawni cynhyrchiad màs. Fodd bynnag, mae tymheredd dyddodiad CVD fel arfer yn uchel iawn, rhwng 900 gradd a 2000 gradd, a all achosi anffurfiad rhannau a newidiadau mewn microstrwythur yn hawdd, a thrwy hynny leihau priodweddau mecanyddol deunydd y corff a gwanhau'r grym bondio rhwng deunydd y corff a'r corff. y cotio, cyfyngu ar y dewis o swbstradau, haenau dyddodiad, neu ansawdd y workpiece canlyniadol. Ar hyn o bryd, mae technoleg CVD yn datblygu i ddau gyfeiriad: tymheredd canolig ac isel a gwactod uchel, ac fe'i cyfunir â phlasma, laser, uwchsain a thechnolegau eraill i ffurfio llawer o dechnolegau CVD newydd.
