sales@inpowervac.com    +8613958606260
Cont

Oes gennych chi unrhyw gwestiynau?

+8613958606260

Jun 26, 2024

Amrywiol Dechnegau Pwmp Gwactod

Pympiau gwactodyn cael eu defnyddio mewn amrywiaeth osystemau gwactod, ynghyd â siambrau a dulliau gweithredu. Mewn rhai achosion, bydd mwy nag un pwmp (mewn cyfres neu gyfochrog) yn cael ei ddefnyddio mewn un cais. Gellir defnyddio pwmp dadleoli positif sy'n cario llwyth nwy o borthladd derbyn i borthladd allfa (gwacáu) i gynhyrchu gwactod rhannol, a elwir yn aml yn wactod garw. Dim ond gwactod isel y gall pympiau o'r fath gyrraedd oherwydd eu cyfyngiadau mecanyddol. Rhaid defnyddio gweithdrefnau eraill, yn gyffredinol yn eu trefn, wedyn i gynhyrchu mwy o wactod (fel arfer ar ôl defnyddio pwmp dadleoli negyddol i gynhyrchu gwactod cyflym). Gellir defnyddio pwmp ceiliog cylchdro wedi'i selio ag olew (y pwmp dadleoli positif mwyaf nodweddiadol) i gynnal pwmp tryledu, neu gellid defnyddio pwmp sgrolio sych i gynnal pwmp turbomoleciwlaidd. Mae cyfuniadau eraill yn bodoli, yn dibynnu ar gryfder y gwactod sydd ei angen.

Mae gwactod uchel yn anodd ei gyflawni oherwydd mae'n rhaid archwilio'n ofalus nodweddion treuliad a gwasgedd anwedd yr holl ddeunyddiau sy'n destun y gwactod. Rhaid i olewau, saim, a gasgedi plastig neu rwber a ddefnyddir fel morloi siambr gwactod, er enghraifft, beidio â berwi pan gysylltir â'r gwactod; fel arall, bydd y nwyon a gynhyrchir yn atal y graddau priodol o wactod rhag cael ei gyflawni. Rhaid i bob arwyneb sy'n agored i'r gwactod gael ei rostio'n aml ar dymheredd uchel i yrru nwyon wedi'u hamsugno i ffwrdd.

Gall dysychu cyn pwmpio dan wactod hefyd helpu i atal nwyon llosg. Mae siambrau metel â morloi gasged metel, megis flanges Klein neu flanges ISO, yn amlach mewn morloi siambr gwactod uchel na gasgedi rwber, sy'n fwy cyffredin mewn cau siambrau gwactod isel. Rhaid i'r system fod yn lân ac yn amddifad o falurion organig i leihau'r nwyon llosg. Mae gan yr holl ddeunyddiau, solet neu hylif, bwysedd anwedd isel, a phan fydd y pwysedd gwactod yn mynd yn is na'r pwysedd anwedd hwn, mae mynd allan o nwyon yn hollbwysig. O ganlyniad, gall llawer o ddeunyddiau sy'n gweithio'n dda ar wactod isel, fel epocsi, fod yn drech na'r nwyon mewn gwactod uwch. Gyda'r mesurau diogelu hyn yn eu lle, gellir cael gwactodau o 1 mPa gydag amrywiaeth o bympiau moleciwlaidd. Mae'n ymarferol cyflawni 1 µPa gyda dyluniad a gweithrediad priodol.

Gellir defnyddio pympiau o wahanol fathau mewn cyfres neu ochr yn ochr. Byddai pwmp dadleoli positif yn cael ei ddefnyddio i ddileu mwyafrif y nwy o siambr mewn dilyniant pwmpio i lawr safonol, gan ddechrau yn yr atmosffer (760 Torr, 101 kPa) a gweithio i lawr i 25 Torr (3 kPa). Yna byddai'r pwysedd yn cael ei leihau i 104 Torr gan ddefnyddio pwmp amsugno (10 mPa). Byddai cryopump neu bwmp turbomoleciwlaidd yn cael ei ddefnyddio i leihau'r pwysau i 108 Torr (1 Pa). O dan 106 Torr, gellir cychwyn pwmp ïon ychwanegol i gael gwared ar nwyon na all cryopump neu bwmp turbo eu trin, fel heliwm neu hydrogen.

Yn aml mae angen offer pwrpasol, gweithdrefnau gweithredu llym, a llawer o brofi a methu ar gyfer gwactod uchel iawn. Systemau gwactod dur di-staen gyda flanges gwactod â gasged metel yw'r rhai mwyaf cyffredin. Er mwyn rhoi hwb dros dro i bwysau anwedd yr holl elfennau sy'n mynd allan o'r system a'u berwi allan, caiff y system ei phobi fel arfer, yn ddelfrydol o dan wactod. Gellir gwneud hyn hefyd ar dymheredd ystafell os oes angen, er y bydd yn cymryd llawer mwy o amser. Gellir oeri'r system i leihau'r pwysau anwedd er mwyn lleihau'r nwyon sy'n weddill yn ystod gweithrediad gwirioneddol unwaith y bydd y rhan fwyaf o'r deunyddiau sy'n agor allan wedi'u berwi a'u gwacáu. Defnyddir nitrogen hylifol i oeri rhai systemau'n ddwfn o dan dymheredd yr ystafell er mwyn atal nwyon llosg gweddilliol tra hefyd yn cryopumping y system.

Rhaid mynd i'r afael â rhai llwybrau gollwng anarferol a ffynonellau nwy allan mewn systemau gwactod tra-uchel. Mae amsugno dŵr alwminiwm a phaladiwm yn dod yn achos annioddefol o or-nwyo, a rhaid rhoi sylw i hyd yn oed metelau caled fel dur di-staen ac amsugnedd titaniwm. Mewn gwactod difrifol, bydd rhai olewau a saim yn berwi allan. Efallai y bydd angen rhoi sylw i fandylledd y waliau siambr gwactod metelaidd a chyfeiriad grawn fflansau metelaidd.

Rhaid ystyried dylanwad maint y moleciwl. Mae moleciwlau llai yn haws i'w gollwng a'u hamsugno gan ddeunyddiau penodol; felly, mae pympiau moleciwlaidd yn llai effeithlon wrth bwmpio nwyon â phwysau moleciwlaidd llai. Er y gall system dynnu nitrogen (prif gydran aer) i'r gwactod priodol, efallai y bydd hydrogen a heliwm amgylchynol dros ben yn dal i fod yn bresennol yn y siambr. Mae problemau anadlu'n codi mewn llestri sydd wedi'u leinio â deunydd athraidd iawn o nwy fel palladium (sbwng hydrogen gallu uchel).

Anfon ymchwiliad