Pwmp Atgyfnerthu Mecanyddol Gwactod Uchel Iawn
Mae Pympiau Atgyfnerthu Mecanyddol Gwactod Uchel Iawn (UHV) (Pympiau Atgyfnerthu Gwreiddiau) yn cynyddu trwygyrch nwy mewn systemau gwactod pwysedd isel lle mae angen gallu pwmpio uchel ac amseroedd pwmpio cyflym-i lawr.
Gan weithredu ochr yn ochr â phwmp cynnal cydnaws (fel pwmp gwactod sych neu bwmp ceiliog cylchdro), mae'r atgyfnerthydd yn defnyddio gweithred mecanyddol dadleoli positif i drosglwyddo nwy o ochr y siambr i'r cam cefn. Mae hyn yn cynyddu cyflymder pwmpio effeithiol yn sylweddol yn yr ystod gwasgedd gwactod canolig i uwch -.
Manylebau Technegol
|
Paramedr |
Manyleb / Gofyniad Dethol |
Ystyriaethau Peirianneg |
|
Math o Gynnyrch |
Pwmp Atgyfnerthu Mecanyddol UHV (Egwyddor Gwreiddiau) |
Atgyfnerthu trwybwn-dadleoli uchel-cadarnhaol |
|
Safonau fflans |
ISO-K / ISO-F, CF Flanges, neu Custom |
Wedi'i ddewis yn seiliedig ar ddargludedd a chywirdeb sêl UHV |
|
Ystod Cyflymder Pwmpio |
Model-dibynnol (Cyfeiriwch at gromliniau perfformiad) |
Rhaid ei gyfrifo ynghyd â dargludiad llinell system |
|
Pwysau Gweithredu |
Gwactod Canolig i Wactod Uchel Iawn (UHV) |
Wedi'i lywodraethu gan y trên pwmpio llwyr a'r siambr allnwyo |
|
Paru Pwmp Gefnogi |
Pwmp Sych, Ceiliog Rotari, neu Piston Rotari |
Rhaid i gapasiti'r gefnogaeth gyfateb i'r llif rhyddhau atgyfnerthu |
|
Pwysedd Gwahaniaethol Uchaf |
Model-terfyn pwysau penodol a ganiateir (Delta P max) |
Yn atal gorlwytho thermol a straen mecanyddol |
|
Gwactod-Deunyddiau Ochr |
Dur Di-staen, Aloi wedi'i Drin, Haenau Arbennig |
Cyfradd outgassing isel a gwrthiant cemegol |
|
Ffurfweddiad Selio |
Elastomer (FKM/FFKM) neu Seliau Metel (CF) |
Wedi'i ddewis yn seiliedig ar gyfradd gollwng heliwm a therfynau pobi |
|
Cyfradd Gollyngiadau Heliwm |
Hyd at 1 x 10^-10 mbar L/s |
Wedi'i wirio trwy ganfodydd gollyngiadau sbectromedr màs |
Canllaw Dewis ac Integreiddio
I ddewis y pwmp atgyfnerthu Roots cywir a sicrhau integreiddio llyfn i'ch system gwactod, gwerthuswch y pwyntiau gweithredu canlynol:
Cyflymder Pwmpio a Phwysau Targed:Cyfrifwch y cyflymder pwmpio effeithiol gofynnol yng nghilfach y siambr, gan ystyried dargludiad pibellau.
Cyfryngau Llwyth a Phroses Nwy:Nodi cyfansoddiad nwy proses, priodweddau cyrydol, gronynnau llwch, a chyfraddau nwyon llosg deunyddiau.
Cydnawsedd Pwmp Cefn:Sicrhewch fod y pwmp cynnal yn trin y cyfaint gollwng heb fod yn fwy na'r pwysau gwahaniaethol uchaf a ganiateir (Delta P max).
Cydgloi Thermol a System:Ffurfweddu switshis pwysau, gyriannau amledd amrywiol (VFD), a chyd-gloi oeri i osgoi gorlwytho mecanyddol yn ystod cyfnodau garw.
Cymwysiadau Nodweddiadol
Lled-ddargludyddion ac Electroneg:Gwacáu a thrin nwy prosesu ar gyfer etch, CVD, ac offer cymorth lithograffeg sydd angen halogiad isel.
Dyddodiad a Chaenu Ffilm tenau:Yn cynnal pwysau gweithredu sefydlog yn ystod prosesau PVD trwybwn uchel, sbwteri a gorchuddio optegol.
Labordai Ymchwil:Perfformiad gwactod dibynadwyedd uchel ar gyfer siambrau ffiseg gronynnau, gwyddor wyneb, ac efelychu gofod.
Ffwrnais gwactod a phrosesu:Yn trin llwythi nwy trwm yn effeithlon yn ystod-dadnwyo tymheredd uchel, bresyddu dan wactod, a thriniaeth wres.
Rheoli Ansawdd a Dogfennaeth
Mae dibynadwyedd UHV yn gofyn am safonau gweithgynhyrchu a gwirio llym:
Prosesu Ystafell Lân:Glanhau uwchsonig aml-gam, diseimio toddyddion, a phecynnu heb lwch er mwyn sicrhau nad oes llawer o wynt.
Prawf manwl:Cydbwyso rotor deinamig, gwirio dimensiwn, a phrofi gollyngiadau heliwm sbectromedr màs.
Dogfen Gyflawni:Model-cromliniau cyflymder pwmpio penodol, lluniadau amlinellol CAD/STEP, manylebau trydanol modur, ardystiadau deunydd, ac adroddiadau prawf gollyngiadau.
FAQ
C: Beth yw prif swyddogaeth Pwmp Atgyfnerthu Mecanyddol Gwactod Uchel Ultra?
A: Mae Pwmp Atgyfnerthu Mecanyddol Gwactod Uchel Iawn yn cynyddu cyflymder pwmpio effeithiol a thrwybwn nwy mewn systemau gwactod gwasgedd isel. Mae'n trosglwyddo nwy o'r siambr wactod tuag at bwmp cynnal, gan alluogi gwacáu cyflym a pherfformiad pwysedd uwch yn y pen draw.
C: A all pwmp atgyfnerthu mecanyddol Roots weithredu'n annibynnol heb bwmp cynnal?
A: Na. Mae pwmp atgyfnerthu mecanyddol angen pwmp cynnal addas (fel pwmp sych neu bwmp ceiliog cylchdro) i ollwng nwy i bwysedd atmosfferig.
C: Pam ddylwn i osgoi dewis pwmp atgyfnerthu yn seiliedig ar gyflymder pwmpio enwol yn unig?
A: Mae cyflymder pwmpio enwol yn cynrychioli dadleoli delfrydol heb gyfrif am golledion system byd go iawn. Mae perfformiad gwirioneddol yn dibynnu ar -ddargludiant llinell gwactod, cynhwysedd pwmp cynnal, pwysau gweithredu, a llwyth nwy siambr.
C: Sut mae atal gorlwytho thermol yn ystod gweithrediad pwmp atgyfnerthu?
A: Mae gorlwytho thermol yn cael ei atal trwy gynnal y pwysau gweithredu o fewn y terfyn gwahaniaethol a ganiateir (Delta P max). Mae defnyddio falf lleddfu pwysau, gyriant amledd amrywiol (VFD), neu switsh pwysau i reoli cychwyn atgyfnerthu yn amddiffyn y pwmp rhag llwythi nwy gormodol.
C: Pa ragofalon glendid UHV a gymerir yn ystod gweithgynhyrchu?
A: Ar gyfer gwasanaeth UHV, mae cydrannau ochr gwactod yn mynd trwy brosesau glanhau arbenigol, megis diseimio ultrasonic, i ddileu gweddillion hydrocarbon.
Tagiau poblogaidd: pwmp atgyfnerthu mecanyddol gwactod uchel ultra, Tsieina gweithgynhyrchwyr pwmp atgyfnerthu mecanyddol gwactod ultra uchel, cyflenwyr, ffatri
